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半導體製程概論(增訂版)

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底下是 半導體製程概論(增訂版) 的內容簡介

本書為半導體製造技術的介紹，包括從晶體成長到形成積體元件與電路的製造過程中，所有主要步驟的理論與實作層面的重點。本書適合作為物理、化學、電機工程、化學工程和材料科學等系所之大四或碩一階段，一學期課程介紹積體電路製造技術的課本教材。亦可配合學校的實驗室進行相關實作教學，以及作為半導體產業界工程師與科學家的參考資料。

在此修訂版中，我們修正與加入以下的資訊：

第一章──更新四張博客來網路書局圖，並加入2000 年後新興製程與元件技術的發展。

第四章──更新一張圖，並加入浸潤式微影、雙重成像與極紫外線微影技術之資訊。

第五章──增加電漿內博客來網路書店組成與性質的介紹，以及對蝕刻機制的描述。

第七章──增加對新式快速升溫技術的介紹。

第八章──更新二張圖，並加入矽鍺膜、選擇性磊晶、電鍍銅、原子層沉積與矽化鎳等技術之資訊。

第九章──更新六張圖，並加入金屬絕緣體金屬電容、形變通道、高介電閘氧層、取代金屬閘、鰭式場效電晶體等技術之資訊。

第十一章──更新四張圖，並加入元件微縮趨勢、微影技術發展、技術發展方向與瓶頸與三維積體電路技術的發展等資訊。

此外，每個章節也針對原版內容與目前發展狀況不相符，或描述略有不清楚的地方將以修正或改寫。

本書特色

一、清楚解釋從晶體成長到形成積體元件與電路的製造過程中，所有主要步驟的理論與實作層面的重點。

二、加入2000年後的積體元件技術資訊，可讓讀者了解最新進展與趨勢。

三、各章穿插附有題解的範例，方便學生自修或教師教學使用。

四、各章皆列出學習目標與重要觀念的總結，並附習題為讀後作業。

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  已追蹤作者：[修改]

  
  
  

  
  
  

  
  
  

  
  
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  作者： 施敏, 梅凱瑞
  
  新功能介紹
• 譯者： 林鴻志
• 出版社：國立交通大學
  
  新功能介紹
• 出版日期：2016/06/01
• 語言：繁體中文

商品網址: 半導體製程概論(增訂版)

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雲林縣斗六市公所鼓勵民眾種樹、種菜，打造花園城市願景，今天邀請慈心有機農業發展基金會有機達人，傳授廚餘堆肥種盆栽菜苗方法，希望藉此讓家家戶戶都有綠意。

斗六市公所今天在成功食農基地舉辦「斗六再現原生綠」植樹活動，現場提供茶花、桂花、黃金側柏等綠美化苗木共800株，供民眾索取，現場也種下一棵七里香，希望打造會呼吸的家園。

斗六市長謝淑亞表示，市公所與福智文教基金會、慈心有機農業發展基金會推廣可分解的環保美植袋，民眾可將家中廚餘製成堆肥，裝入美植袋，再種入樹苗或菜苗，就是一盆美麗的盆景，不僅環保又能美化環境，民眾只要參加市公所的相關推廣活動即可索取。

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